球差校正电镜

根据高分辨观察目标，确认球差校正电镜与配套分析需求。

• 高分辨TEM或STEM
• 原子尺度结构观察
• 配套谱学分析评估

通过像差校正提高电子显微成像能力，在合适样品和模式下研究精细晶体结构、界面与原子尺度特征。

1. 明确目标与样品信息，选择适用测试方法及条件。
2. 样品需足够薄、稳定且污染较少。明确关注结构、取向、元素与束敏感性，制样方式应尽量保留真实结构。
3. 按照确认的测试方案采集数据，记录条件与质量控制信息。
4. 选定区域图像、采集条件及约定的元素或谱学信息，分析范围另行明确。